产品展厅
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CoorsTek公司TPSS碳化硅陶瓷立式炉床管、船组TPSS-U/TPSS-CU
高纯碳化硅材料，具有优异的热均匀性和耐腐蚀性
TPSS的主要成分是高纯碳化硅，是采用先进技术开发的半导体相关材料。TPSS产品具有高纯度、高强度、高耐腐蚀性等多种性能，应用于半导体热处理炉的炉芯管、均热管、舟、叉等。我们还提供采用 CVD 方法表面涂覆超高纯度致密碳化硅薄膜的牌号，满足广泛的用户需求。我们的晶圆舟皿采用了精密加工技术，享有特别良好的声誉，为 300mm 晶圆工艺的质量和良率提高做出了贡献。
由于TPSS表面的CVD膜具有与LP-CVD工艺中生成的沉积膜（SiN、Si等）相似的热膨胀系数，因此减少了因剥离沉积膜而产生的颗粒。
●舟 碳化硅：4.3（热膨胀系数[典型例]）（单位：×10-6/K）
石英玻璃：0.5
●沉积膜 氮化硅：3.5
硅：3.9
按等级进行化学分析的示例
| 年级 | 铁 | 铝 | 钠 | K | 加州 | 铜 | 组 | 你 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TPSS-U | 2.5 | 0.5 | 0.2 | 0.2 | 0.7 | ＜0.01 | 0.1 | 0.3 |
| TPSS-CU | 0.04 | 0.02 | 0.02 | <0.1 | 0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 |
TPSS具有比石英玻璃更高的导热率，因此用作炉芯管时具有更容易均匀加热的优点。与氧化铝相比，它还具有优异的耐热震性。
热性能（典型示例）
| 材料 |
比热 （室温，J/gK） |
线膨胀系数 （×10-6/K） |
导热系数 （室温，W/mK） |
耐热震温度 （△T、℃） |
|---|---|---|---|---|
| TPSS | 0.69 | 4.3（室温至1000℃） | 175 | 400 |
| 石英 | 0.7 | 0.5（室温至1000℃） | 1.66 | 900 |
| 氧化铝 | 0.79 | 7.8（室温至900℃） | 30 | 220 |
