TOKYO-SEIDEN东京精密流量控制阀UPC-4CW2-C150H

自动压力控制器（自动压力控制器）

UPC系列代表零件号：
系列概述：
工作原理 内置压力传感器保持压力恒定。
应用
可以使用电信号设置任何压力。
当多个质量流量单位连接到一根管线时，必须调节压力，以便气体流量的突然波动不会影响其他质量流量单位。
可用作冷却晶圆背面的控制器。
用于下游压力控制。
规格
压力范围 FS 13.3kPa (100Torr)，FS 150/300/500kPa 值
供给压力 0 至 200kPaG，至 897.3kPaG
供给电源电压 模拟：±15VDC (120mA)
DeviceNet：+11 至 +25VDC，4.0W
输出信号 0 ～10VDC、0～5VDC