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报价快！仓库日本直邮CANON佳能真空压力计离子头MG-2
微型量规是由金属制成的小规格球。
从极限压力到溅射等过程压力（可测量1Pa级）的压力测量可以用一个压力表进行。
连接仪表适配器的类型（O 形圈插入型）。 (φ15mm、φ18mm)
有NW16/25、φ34ICF、φ70ICF型。
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格式 |
MG-2 | MG-2M |
MG-2I/ NW16,25 |
MG-2I/ φ34ICF、φ70ICF |
MG-2F | MG-2WF | |
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本体材质 |
SUS304 | ||||||
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测量压力上限（注1） |
13帕 | 1.3×10 -1 (注3) Pa | |||||
| 测量下限压力（注2） | 10 -6帕级 | 10 -7帕级 | 1.0×10 -5 (注4) Pa单位 | ||||
| 灵敏度 | 0.045帕-1 | ||||||
| 灯丝 |
内置2根灯丝 灯丝材质：氧化钇涂层铱丝 |
内置 2 根灯丝 灯丝材质：钨 |
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| 测量球体体积 | 约12cc | ||||||
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所需 电源 |
灯丝网 格脱气 |
2.3W 1.0W |
2.5W 1.0W |
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| 脱气法 | 电网通电 | ||||||
| 安装方法 | 可焊接至 φ15 规格适配器或各种法兰 | φ18 规格适配器 | 西北25、西北16 | φ34ICF、φ70ICF | 连接至φ70ICF法兰 | 可焊接至 φ15 规格适配器或各种法兰 | |
注1) 线性极限
注2) 可实际测量的压力极限。我们建议使用 MG-2F 测量10 -7
Pa。注3) 但是，氮气、氩气等惰性气体的测量压力可达13Pa。
注4) MG-2WF 的测量下限值比标准MG-2 高一位数。
