日本FLUORO真空泵FV-60-240内置 HEPA 过滤器的无油隔膜真空泵
| FV-30 |
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| FV-60 |
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| * HEPA 过滤器可捕获 99.97% 小至 0.3 微米的颗粒 |
| **了解何时 更换 HEPA 过滤器 |
| 产品 | FV-30-110 | FV-60-110 |
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| 流量 | 2.5 升/分钟 (0.088 cfm) | 2.5 升/分钟 (0.088 cfm) |
| 极限真空压力 | -300 毫米汞柱 (-40 kPa) | -600 毫米汞柱 (-80 kPa) |
| 电源 | 100-120VAC | 100-120VAC |
| 功耗 | 5.0W | 10.0W |
| 尺寸(深 x 宽 x 高) | 137×88×85毫米 | 137 x 88 x 133 毫米 |
| 重量 | 800克 | 1250克 |
| 耐用性 | 连续的 | 连续的 |
| 寿命 | >8760 小时 | >8760 小时 |
| 晶圆尺寸 | 6 英寸 | 8 英寸和 12 英寸 |